兆声波清洗
兆声波清洗
兆声振板，用于组装槽式兆声清洗设备
- 产品描述
- 功能特点
- 应用领域
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- 商品名称: 兆声波清洗
兆声振板，用于组装槽式兆声清洗设备
- 振板材质：316L不锈钢、石英
- 振板面积：可定制
- 可定制兆声清洗槽
- 可直接安装到清洗槽底部的兆声振板，方便二次开发；
- 1MHz超高频超声波，更精细的声处理效应
- 均匀的兆声声场，振板表面声强可超过5W/cm2
- 超低的声空化效应，不损伤器件表面
- 对小颗粒去除效果优越，在高深宽比结构清洗中优势明显，精确控制空六气泡后，兆声波也可应用于精细晶圆图形结构的清洗
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● 对应晶圆尺寸：6-8inch
● 传感器：PZT
● 输入功率：600-1200W；
● 去除颗粒直径：≤0.2μm
● 频率：（800~1000）kHz；
● 高频振动：空化效应更强烈，作用更精细
● 工作原理：利用液体分子加速度产生能量
● 均匀性好：均匀的兆声声场，振板表面声强可超过5W/cm2；
● 高精清洗度：兆声发射声场分布均匀，提高清洗均匀度；
● 高防腐性：可耐各种酸碱溶液及有机溶剂；
● 独特的换能器贴合技术，更高的稳定性和耐久性；
● 可调节性：振动频率、功率等参数可以根据不同的应用需求进行调节，可以适应不同材质、形状和污染程度的物体的处理要求，提高了设备的通用性和灵活性
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- CMP化学机械抛光
- 键合前清洗
- 掩膜清洗
- 显影
- 去胶
- Lift-off金属剥离
- 湿法刻蚀
- 镜头清洗
- 显示屏等微电子行业精密清洗
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