槽体模块
Tank Module
Chemical Systems
化学品供液系统
CDS系统为生产线24h供化学液，适用于多行业湿法设备，高度自动化，配比精确。
当设备需要供液时，自动供液系统接收到需液信号控制程序自动打开泵电磁阀、气动阀电磁阀，化学品通过泵输送出去，经过过滤装置，将化学品供应到VMB分支阀箱，再到工艺设备。当工艺设备达到FULL状态需液信息关闭，供液系统停止供应。
化学品供液系统
科芯微为客户提供安全可靠的化学品输送系统，自动化程度高。
系统含供液柜、源、输送、控制系统，提高供液精度和安全性，满足自动化需求。
系统可以自动检测和收集动力系统、输送流量和压力、泄漏检测等数据和信息。当系统检测到泄漏可以自行切断供应并发出警报，以保证人身安全。
具有自动化程度高、配比精确、操作简便等特点，具有耐腐蚀性
具有自动化程度高、配比精确、操作简便等特点，具有耐腐蚀性
具有自动化程度高、配比精确、操作简便等特点，具有耐腐蚀性
可实现溶液自动加液、补液及配液，是许多工艺的核心支持系统
化学品转运车结合了符合人体工程学的设计和优质的材料。
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