CDS供液系统（200L）

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CDS供液系统（200L）

具有自动化程度高、配比精确、操作简便等特点，具有耐腐蚀性

工艺步骤
应用领域
介绍

- 商品名称: CDS供液系统（200L）
具有自动化程度高、配比精确、操作简便等特点，具有耐腐蚀性

操作安全：腐蚀性、毒性、耐压、防爆之考虑
化学品零污染：与化学品接触部份完全与化学品兼容
微粒子控制：过滤器循环过滤
设备材质（酸碱性）：酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T板材，内部管路及组件采PFA 451 HP 材质
隔膜泵：每种化学液体配有两台或者一台PTFE材质的进口隔膜泵
满足最大需求流量：高浓度化学品如H2SO4、H3PO4
自动控制操作运转：系统单元与机台界面自动化
取样分析：系统、管路之粒子数、金属离子取样分析
泄漏警报：侦测泄漏及紧急关闭系统(EMO)
所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能
系统诊断：Pump、Filter、Valve运转时数
维修保养管路 Auto Purge/Flush 功能
化学品用量统计
广泛应用于集成电路、半导体材料加工、LED、太阳能光伏、MEMS及分立器件等行业中湿法设备化学液自动供给
设备用途：本系统主要用于湿法腐蚀清洗等工序需要使用的腐蚀液集中进行配送，经管道配送至使用端
具有自动化程度高、配比精确、操作简便等特点，具有耐腐蚀性
适用对象：IPA、HCL、HF、HNO3、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、H202等
控制模式：手动控制模式、自动控制模式
- 全自动泵切换功能以实现不间断化学品输送
- 让系统在特定情况下自动停止运行的安全联锁装置
- 化学品输送过程中自动进行质量分析(在线计量)
- 回路压力的监控以确保使用点压力恒定
- 最佳的管道布局与设计
- 大流量离心泵
- 用于输送装置的脉动阻尼器隔膜泵
- 冗余泵和过滤器
- 泵和过滤器的自动启动装置
- 手动冲洗和吹扫系统

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