自动化

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产品 新闻

全自动刻蚀机


刻蚀已经成为半导体晶圆制造中的关键步骤

CDS供液系统(200L)


具有自动化程度高、配比精确、操作简便等特点,具有耐腐蚀性

化学品供液柜(200L)


可实现溶液自动加液、补液及配液,是许多工艺的核心支持系统