毛刷(KXW- BF15EN30)

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毛刷(KXW- BF15EN30)

PVA 晶圆海绵刷,高效去除磨料残留物、金属离子和有机物等污染物

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    • 商品名称: 毛刷(KXW- BF15EN30)

    PVA 晶圆海绵刷,高效去除磨料残留物、金属离子和有机物等污染物

    PVA刷子使用在半导体CMP清洗工艺中,刷子夹住自转的晶圆,利用其多孔特性储存并挤出清洗液,结合自身旋转、弹性和亲水性,有效冲洗或反弹走晶圆上的颗粒,高效去除磨料残留物、金属离子和有机物等污染物,保护晶圆表面,提高清洗效率。

  • 材料: PVA海绵
    特性:圆形凹凸表面,表面微粒减少不均匀洗拭
    形状:滚轮、平面、特殊形状

  • 用途:半导体后段CMP洗拭、晶圆(晶侧、晶背、晶面)洗拭、LCD基板、光罩洗拭

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