服务支持

高品质的产品和优质的服务为客户提供始终如一的贴心服务。 作为创新且可靠的模块化湿法工作台供应商,科芯微为半导体制造业提供专业的服务与支持。 科芯微的客户体验从售前开始,并延续到设备的整个使用寿命。

改造和升级

科芯微专注于改造其他供应商的设备,从管道或槽体升级到解决机电问题。此外,使用更新的控制器、软件、自动化和工艺模块改造湿法工作台。科芯微可以定制和改进任何湿式工作台的性能,从而延长设备的使用寿命。

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将手动湿工作台转换为自动化

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提高晶圆尺寸能力和吞吐量

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翻新或更换自动化控制器

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修理或更换水槽,添加超声波、兆频超声波

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新的控制、软件、机电和管道组件

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符合人体工程学装载和定制的用户界面选项

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添加化学分析仪

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添加温度控制

after-sales service

售后支持和现场服务

通过科芯微认证的现场技术服务人员,可以解决许多领域的问题。从湿法工作台到工艺问题再到洁净室设施。该团队进行现场设备改造、软件更改、湿台启动和培训。所有科芯微的湿式工作台均标配 7*24小时技术支持承诺。

科芯微
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spare parts

备件