槽体模块

Tank Module

Tank Module

槽体模块

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科芯微

灵活的槽体工艺模块

PTFE一体槽

无接缝设计,一体成型,耐腐蚀性强、耐高温、表面光滑

恒温槽

恒温槽具有精确的温度控制、均匀的循环流动和颗粒去除功能

QDR槽

QDR工艺模块通过使用DIW快速去除衬底上的化学残留