Ultrasonic Unit
超声单元
超声波清洗的原理是由超声波电源发出高频振荡电流，经换能器转变为机械振动波传入到清洗介质中，从而在液体中产生空化和声波流两种现象，在这两种现象的合力下将附着在晶圆表面的颗粒去除。
超声单元
超声波清洗的原理是由超声波电源发出高频振荡电流，经换能器转变为机械振动波传入到清洗介质中，从而在液体中产生空化和声波流两种现象，在这两种现象的合力下将附着在晶圆表面的颗粒去除。
根据换能器振动频率的不同， 可将超声波清洗分为超声清洗 （<100 kHz）和兆声清洗（800~2 000 kHz）。换能器振动频率的大小影响着液体中形成气泡的大小和密度，从而影响空化作用的强度。
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