恒温槽

恒温槽具有精确的温度控制、均匀的循环流动和颗粒去除功能

- 商品名称: 恒温槽
恒温槽具有精确的温度控制、均匀的循环流动和颗粒去除功能
- 材料选择：NPP、PVDF、PFA、石英或316L不锈钢
- 带彩色触摸屏的PLC控制
- 可编程温度、循环流速和工艺时间
- 液位检测
- 倾斜底部排水
- 4面齿状溢流口
- 温度范围40°C-180°C/-1.0°C，热电偶J型温度探头
- 圆角设计消除颗粒陷阱
- 高纯PFA DIW管路
- 可配10英寸过滤器
- 可配特氟龙气动风囊泵
- PFA气动阀
- 超声波发生器
- 兆声波发生器
- 冷却盘管
- 自动或手动槽盖
- 自动化学品注入和混合
- 可定时、定量补液以维持化学浓度
- 适配手动湿法台或自动湿法台
- 可定制的产品架、夹具或工艺盒
- 电阻率或电导率监测
- Piranha / Sulfuric Peroxide Resist Stripping
- Solvent Photoresist Stripping
- Nitride Etch
- Metal Etch
- KOH Etch / TMAH Silicon Etching
- Mixed acid etch
- SC1 Clean
- SC2 Clean
恒温槽工艺模块介绍

　　科芯微恒温槽可以保持精确的温度控制，均匀的循环流量去除颗粒物。再循环的化学介质从底部进入浴槽，均匀地流过基材，然后通过四面溢流口。化学介质温度由远程热/冷水机组或使用固态在线热交换器控制，来保持槽中的温度。
　　尺寸可定制，专为易于维修而设计。

恒温槽工艺模块介绍

　　科芯微恒温槽可以保持精确的温度控制，均匀的循环流量去除颗粒物。再循环的化学介质从底部进入浴槽，均匀地流过基材，然后通过四面溢流口。化学介质温度由远程热/冷水机组或使用固态在线热交换器控制，来保持槽中的温度。
　　尺寸可定制，专为易于维修而设计。

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