QDR槽
QDR槽
QDR工艺模块通过使用DIW快速去除衬底上的化学残留
- 标准功能
- 可选功能
- 应用领域
- 模块介绍
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- 商品名称: QDR槽
QDR工艺模块通过使用DIW快速去除衬底上的化学残留
- 材料选择：NPP，PVDF, PFA，或316L不锈钢
- PLC控制，彩色触摸屏
- 可编程控制溢流、喷淋、进水时间
- PFA气动阀
- 顶部喷射强度和流量可调
- 自动自清洁循环
- 液位检测
- 高纯PFA DIW管路
- 自动控制快排阀
- 可定制
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电子行业、医疗行业、半导体行业、钟表首饰行业、光学行业、纺织印染行业等
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QDR槽工艺模块介绍
科芯微QDR工艺模块可以快速去除基材中的化学物质，降低DIW使用的同时，去除基材中的颗粒物。该模块包括配方可编程的溢流冲洗、顶部喷淋、快速排放。去离子水通过分散孔洞进入槽体底部，这种向上的流动将颗粒和化学物质从产品中抬起，并通过四面溢流口流出。通过编程控制溢流时间后，底部快排阀打开并快速排出冲洗水。在过程中，顶部安装的喷淋器用干净的DIW保持产品湿润。可通过程序配方设置重复这个循环，直到产品被冲洗干净。
触摸屏PLC提供了编辑冲洗程序的灵活性，并有可以设置喷淋、溢流、注水的时间和次数。自动自清洁循环冲洗以消除细菌生长。
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