在线加热器
在线加热器
半导体设备中的药液加热控制
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- 产品规格
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- 商品名称: 在线加热器
半导体设备中的药液加热控制
PFA加热元件直接与药液或去离子水接触，以实现最高效率和快速响应。
基本上在任何流速下都能够承受高达110°℃的温度和高达0.3KG的压力。
超纯水设计
- 1.PFA润湿表面，热响应快
- 2.低功率密度；≤4瓦/平方英寸
- 3.紧凑的设计，最小占地面积的最大功率
- 4.加热器的高度通常为5”至20”,直径为4”
- 5.灵活的方案，具有多种选项，电压和功率输出的多种设计。
安全特性： 液位传感器、过热热电偶、 过程热电偶
选项： 热切断、可提供K型或其他热电偶、液位传感器、RTD传 感器
加热器改装为客户当前的设计
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功率：1kW至12kW(取决于客户电压)
电压：200VAC至480VAC 1ph和3ph(取决于功率)
温度：最高使用温度为110℃
温度准确度：±0.1°℃(根据客户提供的便利)
流量：1.9LPM至122LPM(取决于型号)
压力：0.3Mpa @110°℃ 效率：>99%
型号
功率
电压
溶液接口
HK5KMWP
5
220/380
3/4
HK10KMWP
10
220/380
3/4
HK12KMWP
12
220/380
3/4
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主要用途：
1.半导体设备中的药液加热控制
A.扩散前清洗液：氨水双氧水、盐酸双氧水
B.光刻胶酸性剥离液：硫酸双氧水
C.氮化膜除去液：磷酸
2.其它领域的化学药剂精密控制加热
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