有机清洗机
有机清洗机
湿法制程有机溶剂清洗，触控人机或PC界面搭配PLC的软件控制
- 工艺步骤
- 应用领域
- 介绍
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- 商品名称: 有机清洗机
湿法制程有机溶剂清洗，触控人机或PC界面搭配PLC的软件控制
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用于晶圆制造中薄膜沉积前后、干法刻蚀前、离子注入后、研磨前后、退火前后、抛光前后清洗以及化学湿法刻蚀清洗等领域
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- 去胶设备
- 显影设备
设备应用湿法制程有机溶剂清洗，触控人机或PC界面搭配PLC的软件控制，由机械手臂180度旋转设计执行槽位间的晶圆输送。
配置多款制程槽位模块，提高产能输出，生产流程更有效率管控，各种安全防护标准设计，针对设备与人员的各种危险隐忧提高保护措施。
溶液
温度 溶解性能
丙酮 常温 最强 异丙醇 常温 较强 无水乙醇 常温 较弱
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