湿法设备

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有机清洗机

有机清洗机

湿法制程有机溶剂清洗，触控人机或PC界面搭配PLC的软件控制

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湿法设备

清洗设备

清洗机

最终清洗机

最终清洗机

清洗槽用于6/8吋兼容，集成电路制造工艺的最终清洗

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湿法设备

EKC Clean

EKC Clean

用于蚀刻后去除残留物和杂质，尤其是去除铜蚀刻后留下的杂质

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湿法设备

RCA清洗机

RCA清洗机

常用于半导体制造工艺中的清洗方法

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湿法设备