卧式石英管舟清洗机
卧式石英管舟清洗机
石英管/ 舟、石英板、点火炮、基座等零部件浸泡式清洗
- 工艺步骤
- 应用领域
- 介绍
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- 商品名称: 卧式石英管舟清洗机
石英管/ 舟、石英板、点火炮、基座等零部件浸泡式清洗
step1：酸洗槽
step2：水洗槽
step3：酸液储存槽（可选） -
集成电路、封装、光伏、功率半导体、化合物半导体、科研领域
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全自动清洗，浸泡式清洗与喷淋式清洗工艺可选 一机多用，可兼容石英管/舟/工件清洗 自动配液系统，换酸便捷
用DIW、酸液等药液清洗8寸/12寸等多种尺寸的石英舟/石英管
1、机械手臂负载：≤50Kg (机械手臂最大负载：50 kg)
2、清洗对象：
炉管最大尺寸：ø 510mm X L 1520mm
石英舟最大尺寸：ø 345mm X L 1385mm
3、清洗能力：石英管/石英舟 1只/次/腔室
4、设备构成：由卧式酸槽、卧式水槽、机械臂（吊钩）等主要机构组成
5、设备安全：排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
6、酸槽主要功能：自动补液（液位传感器控制）、自动槽盖、药液循环过滤、炉管滚动、独立取样口
7、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe，操作简洁
8、选配SECS/GEM接口
9、配置Leak Sensor
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