化学品供液柜（200L）

可实现溶液自动加液、补液及配液，是许多工艺的核心支持系统

- 商品名称: 化学品供液柜（200L）
可实现溶液自动加液、补液及配液，是许多工艺的核心支持系统
可实现溶液自动加液、补液及配液，是许多工艺的核心支持系统

设备主要由溶液放置区、动力供应区、过滤装置、FFU、抽风系统及电控部分操作区组成
- 高精度和高可靠性
- 可程序化调控
- 自动化程度高
- 配比精确
- 耐腐蚀性能佳
广泛应用于集成电路、半导体材料加工、LED、太阳能光伏、MEMS及分立器件等行业中湿法设备化学液自动供给
核心原理：对主机台( 需求设备 )进行通讯，当主机台需要药液自动开启隔膜泵、阀进行供液到指定需求量；

设备功能：PLC人机交互，多工位循环供液、空桶报警、漏液报；内部PFA、C-PVC管路可满足各类酸碱药业的供给，如:氢氟酸、显影液等。