化学药液循环加热器

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化学药液循环加热器

无金属离子溶出污染，在线加热型化学药液加热设备
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    • 商品名称: 化学药液循环加热器

    无金属离子溶出污染，在线加热型化学药液加热设备

    1. 加热部分采用高纯度玻璃碳材料，无金属离子溶出，晶圆处理时不需要贴表面保护膜，减少工艺，提高效率。

       独自开发的 O 型圈构造，对于酸，碱，及有机溶液均可应对。
    2. 自带检漏，温度异常检出功能，温度开关内置，可自动关停，达到使用安全。

  • 加热机 CHE-36-3-S
    控制器 AIC-7-CH6-S
    加热方式 可交换式电阻加热器加热，处理槽与在线配管直接循环
    温度设定范围 25℃～80℃根据实际环境及药液种类而定
    温度控制精度 ±0.5℃（设定温度在50～80℃时）
    加热器耗电量 6KW
    温度控制方式 PID控制，自动调谐功能
    温度设定方式 上下键设定
    温度表示方式 4位数字表示（最小0.1℃）
    循环系统接液材质 氟化树脂，导热接液面采用高纯度玻璃碳材料
    循环系统容许内压 0.3MPa
    循环流量 15（L/min）以上
    安全功能 自动诊断功能，检出后电力输出停止、报警
    外部通信 RS232C
    加热机外形尺寸 Ｗ380×D350×H325   约38kg
    控制器外型尺寸 Ｗ145×D235×H213   约5.2kg
    循环系统配管径 PFA配管（外径3/4″×内径5/8″）
    电源（50/60Hz） ＡＣ单相 200Ｖ/30Ａ

  • 1. 半导体加工艺中的晶圆处理的各种药液的温度管理  · 高分子材料去除溶液

    • RCA 清洗液
    • 刻蚀液
    • 显影液

    2. 电镀溶液，各种表面处理液

    • 酸性药液（氟酸，硝酸等）
    • 碱性药液（NaOH、KOH 等）
    • 有机溶液

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PFA花篮（2寸4寸6寸）

药液浴槽监控

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PFA花篮（2寸4寸6寸）

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药液浴槽监控

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