药液浴槽监控

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药液浴槽监控

FTPA2000-SC系列湿法过程分析仪
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    • 商品名称: 药液浴槽监控

    FTPA2000-SC系列湿法过程分析仪

    • FTPA2000-SC系列湿法过程分析仪 (WPA) 最多可监测8个浴槽
    • 浴槽可在单个或多个机台上使用并且可监控相同或不同的化学药液
    • WPA可以安装在浴槽100米（328英尺）内任何位置，通过Modbus，以太网或4-20mA模拟输出进行通讯
    • WPA除了能够显示过程中监测的各个性质值及其趋势外，还能够自动存储数据，当数值超出许可范围时软件会发出警告或报警。
    • 能够对超过30种药液进行监控
    • 量身定制满足用户需求
    • 易于操作、安装与维护
    • 完全不干扰采样设计，可防止浴槽药液污染的风险

  • Etch                                      A70, acetic/HF/nitric, BHF (HF+NH4F), BOE, Cyantek CR-7S,

                                                 Glycol/HF, H3PO4/H2O2, H3PO4/nitric/HF,HCI + FeCI3,

                                                 HF, Hot Phos, Hot SPM, mixed acids enchants,organic acids,

                                                 PAD, PAN,  sulfuric/HF, sulfuric/H3PO4/nitric/HF,TMAH

    Clean                                    Aqua Regia, BDG, DHF, DMSO/MEA, H3PO4, HCI/HF,mixed acids,

                                                 Kanto Deer Clean®, Microstrip® 5002, NH4OH/H2O2/H2O,

                                                 organic acids, SC2, SCI, SPM, ST250™

    PR and ash removal             ACT®, Aleg™-310, CLK™-888, DSP, EKC™, H2SO4, H3PO2,

                                                 Rezi-38®, ST250, TMAH/H2O2

    Solar                                    Plating (sulfuric in Ni bath, sulfuric in Cu bath),

                                                Texturing (HF/nitric, HF/Phosp/nitric, HCI),

                                                 Thinning (KOH/IPA, KOH, NaOH)

    FPD                                     BDG, DMSO/MEA, mixed acids

  • 可对湿法化学过程进行精确、实时的在线监测。 延长药液使用寿命，减少化学品消耗，无离线实验室分析所需的停工期，从而节约生产费用。
    非接触式测量。 无化学品损耗，无污染风险，安装时无需停工。
    快速测量（＜1分钟），接受多种通讯协议。 实时过程控制。
    多流路分析（最多可达8个流路）。 每一监控点分析成本低。
    多组分分析（每个流路可切换多种配方工艺药液） 增强了技术要求很严格的场合的过程分析性能，减少晶片的清洗次数。
    可通过光纤实现远程监测，仪器外型尺寸小。 灵活的安装选择
    傅立叶红外拥有极高的稳定性和可靠性。 无漂移，维护量低。

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化学药液循环加热器

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