Pre-Diffusion Clean

扩散前清洗

了解更多 →
科芯微

Pre-Diffusion Clean Overview

扩散前清洗

KOSEN 的预扩散清洁工艺可去除轻度有机物、二氧化硅层、颗粒、金属和保护性氧化物再生。

与KOSEN的所有工艺应用一样，预扩散清洁工艺也可获得KOSEN标准的 24/7 全天候技术支持。

Related Products

PTFE一体槽

PTFE一体槽

无接缝设计，一体成型，耐腐蚀性强、耐高温、表面光滑

恒温槽

恒温槽

恒温槽具有精确的温度控制、均匀的循环流动和颗粒去除功能

QDR槽

QDR槽

QDR工艺模块通过使用DIW快速去除衬底上的化学残留

超声波槽

超声波槽

超声波槽旨在增强溶剂或水性化学物质的清洁过程。超声波功率可调

石英槽

石英槽

能够保持结构的稳定性和精度，确保晶圆的洁净度和完整性