珠海首条自主建设的6英寸MEMS芯片生产线建成通线

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发布时间：

2026-01-17

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2026年1月15日，云际芯光（珠海）微电子有限公司投资建设的珠海首条自主建设的6英寸MEMS芯片生产线在金湾区建成通线。该产线位于金湾区三灶镇定家湾片区，具备光刻、薄膜、刻蚀、键合、检测等完整工艺环节，可实现MEMS芯片的规模化生产。

MEMS即微机电系统，是在微米到毫米尺度上，融合机械结构与电子电路的集成化芯片或系统。它依托集成电路工艺，结合特殊加工技术，实现大批量、低成本制造，在极小尺寸内完成传感、制动与控制功能。

该产线采用模块化布局与高效动线设计，旨在快速实现工艺导通与稳定量产，为公司SMR滤波器、高基频石英晶振等核心产品提供自主制造能力。“建设周期最短、通线速度最快”，云际芯光用这样定义了MEMS产线建设的“珠海速度”“金湾效率”。

这条总投资超2.5亿元的产线，是集研发、中试与量产于一体的综合性平台，配备百级/千级洁净车间及全流程关键设备，形成完整MEMS芯片工艺能力。仅用约一年便完成全链条闭环，填补了珠海MEMS芯片制造环节的空白，尽显“珠海速度”。

云际芯光深耕压电MEMS技术，组建40余人研发团队（博硕占比超80%），与天津大学共建研发中心形成闭环，累计提交专利30余项、获授权8项。核心产品已应用于低轨卫星、5G通信等关键领域，为高端芯片国产替代提供本土方案。

云际芯光成立于2023年11月，与天津大学深度合作，成立联合研究中心，技术团队具备深厚的MEMS研发与产业化背景。公司聚焦压电MEMS技术，已形成四大产品方向：

● SMR滤波芯片：应用于5G/6G、卫星通信等领域，已推出50余款产品，频率覆盖1GHz-8.5GHz。

● PMEMS声学传感器：基于自主研发的IPP芯片架构，性能媲美传统陶瓷传感器，且体积更小、可靠性更高，适用于水听、测距、流量检测等场景。

● 高基频石英晶振：采用自主QMEMS工艺，频率可达70-300MHz，其中156.25MHz产品已实现对国际主流型号的国产替代。

● 高精度压力传感器：目标精度0.01%FS，适用于工业监测、高端装备等领域。

此次通线使云际芯光完成了从设计、工艺到制造的全链条闭环，大幅提升了公司的市场响应速度与产品交付能力，为公司未来的高速发展引领市场奠定了坚实的制造根基。

云际芯光（珠海）微电子有限公司成立于2023年11月20日，公司聚焦MEMS芯片制造，自主建设6英寸MEMS芯片生产线，具备光刻、薄膜、刻蚀、键合、检测等完整工艺环节，实现规模化生产。该公司以技术创新为核心，致力于推动MEMS芯片国产化，是珠海集成电路产业的重要力量。