SPM腐蚀机
SPM腐蚀机
SPM是一种常用的湿法化学溶液，用于光刻胶的剥离
- 工艺步骤
- 应用领域
- 介绍
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- 商品名称: SPM腐蚀机
SPM是一种常用的湿法化学溶液，用于光刻胶的剥离
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用于晶圆制造中薄膜沉积前后、干法刻蚀前、离子注入后、研磨前后、退火前后、抛光前后清洗以及化学湿法刻蚀清洗等领域
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SPM自动清洗系统设备主要用于LED芯片制造过程中硅片表面有机颗粒和部分金属颗粒污染的自动清洗工艺。
SPM溶液中的硫酸和过氧化氢共同作用，通过氧化还原反应将光刻胶分解
- 主要功能：通过对硅片腐蚀、漂洗、等方式进行处理，从而达到一个用户要求的效果
- 可处理晶圆材料：硅 砷化镓 磷化铟 氮化镓 碳化硅 铌酸锂 钽酸锂等
- 被清洗硅片尺寸：2-8寸(25片/蓝)
- 设备形式：室内放置型
- 操作形式：自动
- 预氧化清洗
- 残留物清除
- 抗蚀剂剥离后清洗
- 光刻胶剥离和清洗
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