SPM Clean技术——硫酸混合液清洗操作指南
分类：
工艺技术
作者：
来源：
发布时间：
2024-07-31
访问量：
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硫酸混合液清洗(SPM Clean)
SPM成分组成 98% H2SO4:30% H2O2=5:1 125℃
主要作用：
- 光阻残余物剥离
- 去处有机粘污物
反应机理：
硫酸可以使有机物脱水而碳化，而双氧水可将碳化产物氧化成一氧化碳或二氧化碳气体。
H2SO4+H2O2 
HO-(SO2)-O-OH<H2SO5>+H2O
HO-(SO2)-O-OH+ (CH2)nCO2+H2O
SPM,硫酸混合液清洗,光阻残余物剥离,去处有机粘污物
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