BOE刻蚀工艺介绍
分类：
工艺技术
作者：
来源：
发布时间：
2024-07-31
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BOE又称为氧化刻蚀缓冲剂，是由40%NH4F和49%HF混合而成。有时为了提高刻蚀效果成分中加入一些活性剂。BOE可以用来刻蚀氧化硅（SiO2)、磷硅玻璃（PSG）、硼磷玻璃（BPSG）等材料。
BOE有多种不同配比的药液：BOE（7：1） BOE（10：1） BOE（200：1）
化学反应方程式：
SiO2+HF 
SiF4
SiF4+2NH4F (NH4)2SiF6
B2O3+HF 2BF3+3H20
由于BOE的刻蚀选择性要优于HF，因此许多SiO2刻蚀工艺使用BOE药液。
BOE,Etching,刻蚀工艺
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