SPM：有机物与金属的“强效溶解剂”
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工艺技术
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发布时间：
2025-11-24
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1、组成成分
SPM，全称为Sulfuric Acid–Hydrogen Peroxide Mixture（硫酸-过氧化氢混合物）。它的典型配比为：H₂SO₄:H₂O₂=3:1至4:1（即硫酸:双氧水）。
2、作用原理与制程应用
SPM是清洗方案中最为“暴力”的一环，主要负责去除顽固的有机残留物（如光刻胶）和部分金属污染物。
强氧化与脱水：浓硫酸具有极强的脱水性，能有效地将有机物中的氢和氧以水的形式“抽取”出来，使其碳化。同时，双氧水在高温下（通常加热到120°C以上）分解产生大量具有强氧化性的氧原子，能将碳化的有机物彻底氧化成二氧化碳和水。
主要应用场景：
（1）光刻胶去除：在离子注入或刻蚀工艺后，硅片表面会残留坚硬的光刻胶，SPM是去除它们的最有效方法之一。
（2）重金属清洗：能有效去除如铁、铬等金属污染物。
（3）极度污染后的初始清洗：作为清洗序列的第一步，为后续的精细清洗做准备。
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