CDS供液系统组成及基本要求

分类：

工艺技术

作者：

来源：

发布时间：

2025-07-18

访问量：

CDS自动供液系统是一种用于在生产线上自动、连续地供应化学液的中央化系统。

1.CDS供液系统主要由四部分组成，分别为:供液柜、供液源、输送系统，控制系统。

1.1供液柜

结构特点：供液柜采用全封闭结构，使用耐酸碱腐蚀的PP(聚丙烯)板组合焊接而成，前后装有设备维修门，后部为透明PVC材质的可拆卸门，便于观察内部管路。

安全措施：供液柜上安装有抽风系统，用于排出挥发性腐蚀气体，并配备风量调节阀及差压表进行风量监测和压力检测，确保操作环境的安全。

1.2.供液源

配置方式：本系统采用一种化学液，配备两只供液桶的方式，实现不间断供液，保证供液的连续性和可靠性。

1.3.输送系统

计量泵：作为流体精密计量的理想设备，在化工工艺过程中可以承担强腐蚀性溶液的计量添加任务，目前已广泛地用于化工工艺过程中辅料的定量或配比供给。

过滤器：由于输送溶液为强酸，所以选择PFA材质的过滤器，并且从使用和更换方便的角度考虑，选用的过滤器为壳体与滤芯分离式。

除泡器：由于采用计量泵输送溶液时有震动，易释出微粒子，产生气泡，所以需要加装除泡器。

供液管道：系统供液管道主要由阀门和管件组成，出于防腐性和输送安全性的考虑，供液管道一般采用双套管方式。

1.4.控制系统

控制方式：本系统由PLC进行控制，运行方式有两种模式：自动运行和手动运行。自动模式下，当供液系统接收到设备发出的供液需求信号后，自动运行供液程序，完成配液操作。手动模式下，可选择进行单步的手动操作。

2.供液系统组成

系统主要由机架、引风单元、电控单元、供液单元、管路单元及化学液分配阀箱(VMB)等部分组成

3. CDS 供液系统基本要求

1)操作安全:系统应具有抗腐蚀性、毒性、耐压、防燃防爆等功能，保证操作者安全;

2)兼容性:与化学品接触部份应完全与输送化学品兼容，对化学品零污染;

3)流量及扬程:满足供液过程中的流量和扬程要求，尤其对高浓度化学品(如 H2SO4、H3PO4)和具有垂直落差(供液系统与工艺机台不在同一高度)的动力空间;

4)自动控制操作运转:系统单元与机台界面自动化;

5)精确配比:系统连续供液(配液、补液)过程中准确可靠，脉动性较好;

6)取样分析:便于对系统中管路的粒子数、金属离子等取样分析;

7) 泄漏警报:检测泄漏及紧急关闭系统(E-MO);

8)其他:系统自诊断及管路维修保养功能。

科芯微公司——引领半导体清洗技术革新

了解更多技术详情，请咨询技术顾问：13861996325！

▲技术咨询 ▲关注科芯微微信公众号

CDS供液系统,CDS供液柜