SRD卧式甩干机
SRD卧式甩干机
适用于对颗粒吸附较为敏感的高端晶圆制造工艺
- 工艺步骤
- 应用领域
- 介绍
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- 商品名称: SRD卧式甩干机
适用于对颗粒吸附较为敏感的高端晶圆制造工艺
SRD 卧式甩干机运用离心力原理达成物料脱水。
设备运行时,电机驱动转鼓高速旋转,物料置于转鼓内,在离心力作用下,其中的水分因离心力大于物料对水的附着力,从物料中分离并通过转鼓壁上的小孔甩出,进而实现物料脱水干燥。
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适用于对颗粒吸附较为敏感的高端晶圆制造工艺。
常用于生产高精度、高要求的集成电路晶圆等场景。
- 纺织印染行业
- 化工行业
- 食品加工行业
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对于一些对平整度要求较高,且在甩干过程中不易因水平放置而产生变形的晶圆产品较为适用。
例如,一些尺寸较大、厚度相对较厚的功率半导体晶圆,卧式甩干机能更好地保证其在甩干过程中的稳定性。
卧式结构使得内部转鼓等部件相对容易接近,维护和清洁工作相对较为方便。但卧式甩干机在操作时,需要确保晶圆在水平方向上的准确放置和固定,以防止在高速旋转过程中出现偏移或损坏。
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