干燥设备

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Marangoni 干燥机


Marangoni 干燥机是一种基于 Marangoni 效应的新型干燥技术

IPA干燥机


纯水+IPA+热氮干燥

SRD立式甩干机


SRD甩干机是半导体制造过程中不可或缺的重要设备。

SRD卧式甩干机


适用于对颗粒吸附较为敏感的高端晶圆制造工艺