IPA干燥机
IPA干燥机
纯水+IPA+热氮干燥
- 工艺步骤
- 应用领域
- 介绍
-
- 商品名称: IPA干燥机
纯水+IPA+热氮干燥
IPA蒸汽干燥采用化学方式来替换晶圆表面的水分子，而不是用机械力，因此对于微细的特征结构更加友好，能避免因为机械力的作用导致的晶圆破坏。
由于IPA的挥发性，它可以迅速从晶圆表面蒸发，留下干净的表面，避免了晶圆在干燥过程中形成的水斑。减少颗粒污染
-
适用于半导体衬底材料清洗及晶圆湿法工艺制程后的干燥
-
IPA干燥是一种利用 IPA（异丙醇）加热汽化、蒸发及表面张力作用达到脱水干燥目的的技术。
1.晶圆在药液中中清洗以去除表面的污染物。
2.将晶圆放入充满IPA蒸汽的腔室中。在腔室中，IPA蒸汽会与残留在晶圆表面的药液混合，形成一个含有IPA和药液的混合液。
3.通过加热或降低压力，使混合液从晶圆表面蒸发，从而将晶圆干燥。
4.从腔室中取出干燥的晶圆，以进行后续的制程步骤。
上一页
下一页
上一页
下一页
订阅我们，获得最新动态
扫码访问手机站
微信公众号
