槽体模块
Tank Module
Tank Module
干燥设备
晶圆经过清洗后，表面会残留很多水或清洗液的残留物，这些水或清洗液的残留物中溶有杂质，如果让这些残留液体自行蒸发干燥，这些杂质就会重新黏结在晶圆表面上，造成污染，为此，需要对晶圆表面进行干燥处理，以除去这些残留液体。干燥工序均被安排在湿处理工艺完成之后，干燥处理很大程度上决定了湿处理的结果。因此干燥处理是最重要的湿处理工序。
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