Marangoni 干燥机

Marangoni 干燥机是一种基于 Marangoni 效应的新型干燥技术

- 商品名称: Marangoni 干燥机
Marangoni 干燥机是一种基于 Marangoni 效应的新型干燥技术

Marangoni 干燥机是一种基于 Marangoni 效应的新型干燥技术

在半导体晶圆制造过程中，清洗后的晶圆需要彻底干燥，以避免表面氧化和形成水渍等缺陷，从而影响芯片的性能和成品率。

由于IPA的表面张力比水小得多（25℃下，IPA表面张力为20.9×10-3 N/m；水的表面张力为72.8×10-3 N/m），所以会在坡状水流表层形成表面张力梯度，产生Marangoni对流，水被“吸回”水面，从而实现晶片干燥的效果。
Marangoni 干燥机能够在相对温和的条件下快速有效地干燥晶圆，减少颗粒污染和表面损伤，适用于不同尺寸的晶圆，可用于集成电路、大规模集成电路等产品的生产
基于 Marangoni 效应的 Marangoni 干燥技术，是利用 IPA（异丙醇）与高纯水不同的表面张力将晶圆表面的水分子吸收到干燥水槽内以实现对晶片的干燥