槽体模块

槽体模块

Tank Module

Tank Module

槽体模块

槽体模块工艺是一种用于制造槽体模块的加工方法。槽体模块通常是一种具有特定形状和结构的零件，用于容纳和支撑其他元件。

槽体模块

超声单元

辅助产品

PTFE一体槽

PTFE一体槽

无接缝设计，一体成型，耐腐蚀性强、耐高温、表面光滑

恒温槽

恒温槽

恒温槽具有精确的温度控制、均匀的循环流动和颗粒去除功能

QDR槽

QDR槽

QDR工艺模块通过使用DIW快速去除衬底上的化学残留

超声波槽

超声波槽

超声波槽旨在增强溶剂或水性化学物质的清洁过程。超声波功率可调

石英槽

石英槽

能够保持结构的稳定性和精度，确保晶圆的洁净度和完整性

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