槽体模块

Tank Module

Tank Module

功能模块

QDR槽

QDR工艺模块通过使用DIW快速去除衬底上的化学残留

超声波槽

超声波槽旨在增强溶剂或水性化学物质的清洁过程。超声波功率可调

石英槽

能够保持结构的稳定性和精度,确保晶圆的洁净度和完整性

超声波清洗

利用超声波在液体中产生的空化效应、加速度效应及直进流作用等

兆声波清洗

兆声振板,用于组装槽式兆声清洗设备

化学药液循环加热器

无金属离子溶出污染,在线加热型化学药液加热设备

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