槽体模块

Tank Module

Tank Module

功能模块

毛刷(KXW- BF15EN30)

PVA 晶圆海绵刷,高效去除磨料残留物、金属离子和有机物等污染物

在线加热器

半导体设备中的药液加热控制

风囊泵

半导体行业/电子行业/液体安全、有效、无污染输送

PFA花篮(2寸4寸6寸)

耐高温;耐受强酸强碱等强腐蚀样品;用于半导体硅片,晶片,玻璃,液晶屏等清洗、腐蚀设备的承载花篮

PTFE一体槽

无接缝设计,一体成型,耐腐蚀性强、耐高温、表面光滑

恒温槽

恒温槽具有精确的温度控制、均匀的循环流动和颗粒去除功能

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