槽体模块

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Tank Module

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超声单元

辅助产品

化学药液循环加热器

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无金属离子溶出污染，在线加热型化学药液加热设备

药液浴槽监控

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FTPA2000-SC系列湿法过程分析仪

混液系统

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具有自动化程度高、配比精确、操作简便等特点，具有耐腐蚀性

CDS供液系统（25L）

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具有自动化程度高、配比精确、操作简便等特点，具有耐腐蚀性

CDS供液系统（200L）

CDS供液系统（200L）

具有自动化程度高、配比精确、操作简便等特点，具有耐腐蚀性

化学品供液柜（200L）

化学品供液柜（200L）

可实现溶液自动加液、补液及配液，是许多工艺的核心支持系统

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