槽体模块
Tank Module
Tank Module
CDS供液系统
随着湿化学设备在 LED、太阳能、MEMS、功率器件、分立器件、先进封装和半导体材料等领域自动化程度的不断提高,传统的人工手动配液、补液逐渐由自动供液取代。在这一过程中,化学品集中供液系统(CDS)便得到了越来越重要的应用。
具有自动化程度高、配比精确、操作简便等特点,具有耐腐蚀性
具有自动化程度高、配比精确、操作简便等特点,具有耐腐蚀性
具有自动化程度高、配比精确、操作简便等特点,具有耐腐蚀性
可实现溶液自动加液、补液及配液,是许多工艺的核心支持系统
化学品转运车结合了符合人体工程学的设计和优质的材料。