槽体模块

Tank Module

Tank Module

产品介绍

全自动刻蚀机

刻蚀已经成为半导体晶圆制造中的关键步骤

混液系统

具有自动化程度高、配比精确、操作简便等特点,具有耐腐蚀性

CDS供液系统(25L)

具有自动化程度高、配比精确、操作简便等特点,具有耐腐蚀性

CDS供液系统(200L)

具有自动化程度高、配比精确、操作简便等特点,具有耐腐蚀性

化学品供液柜(200L)

可实现溶液自动加液、补液及配液,是许多工艺的核心支持系统

化学品车

化学品转运车结合了符合人体工程学的设计和优质的材料。

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