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产品介绍
Marangoni 干燥机
Marangoni 干燥机是一种基于 Marangoni 效应的新型干燥技术
IPA干燥机
纯水+IPA+热氮干燥
SRD立式甩干机
SRD甩干机是半导体制造过程中不可或缺的重要设备。
SRD卧式甩干机
适用于对颗粒吸附较为敏感的高端晶圆制造工艺
SPM腐蚀机
SPM是一种常用的湿法化学溶液,用于光刻胶的剥离
KOH Etching
硅片的KOH蚀刻取决于溶液的浓度和温度