槽体模块

Tank Module

Tank Module

IPA干燥机

纯水+IPA+热氮干燥

SRD立式甩干机

SRD甩干机是半导体制造过程中不可或缺的重要设备。

SRD卧式甩干机

适用于对颗粒吸附较为敏感的高端晶圆制造工艺

SPM腐蚀机

SPM是一种常用的湿法化学溶液,用于光刻胶的剥离

KOH Etching

硅片的KOH蚀刻取决于溶液的浓度和温度

全自动刻蚀机

刻蚀已经成为半导体晶圆制造中的关键步骤

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