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Tank Module
最终清洗机
清洗槽用于6/8吋兼容，集成电路制造工艺的最终清洗
EKC Clean
用于蚀刻后去除残留物和杂质，尤其是去除铜蚀刻后留下的杂质
RCA清洗机
常用于半导体制造工艺中的清洗方法
卧式石英管舟清洗机
石英管/ 舟、石英板、点火炮、基座等零部件浸泡式清洗
Pre-Diffusion Clean
去除晶圆上的化学残留物和颗粒，保护氧化物再生
Marangoni 干燥机
Marangoni 干燥机是一种基于 Marangoni 效应的新型干燥技术
